津策在线质谱分析仪进行气体产物定性和定量分析.

测试质量数范围为1至 100amu,1 至 200 amu 和1至 300 amu.

质谱分析仪整机操作简便, 设计紧凑, 可定制化模块.

在线质谱分析仪：优势检测限低< 100 ppb
彩色触摸显示屏或网络用户界面，可定制化模块  装置小巧便携

测量时间快,最快 1 ms/amu 响应时间

自动校准和调整
气体分析仪由进气系统,质谱仪,千式隔膜泵和涡轮分子泵组成,气体分析仪更适合于气体的定性和定量分析,进气口配有一个能加热至 350℃ 的毛细管,加热毛细管在样气分析时防止蒸汽冷凝,这种两段式的进气系统使气体供应免分离.

典型应用

残留气体分析

对真空系统中残留气体的分析提供了解决方案， 很多应用要求对残余气体的组成或分压进行监测，直至达到所期望的极限，我们的MLS 可以完美的测试残余气体组分。

关于材料的表面性能、解吸行为、纯度和密封性测试，以及工艺气体的组成的测试。该质谱系统均可以完成测试，它还能为用户提供对真空室状况的重要信息。

完好的电池(红色)和泄漏电解液的电池扫描比对

泄漏检测

具有指定特定的气体泄漏检测模式，可以通过软件控制来激活。

此功能使用户更容易在真空系统中发现任何泄漏。

DMC 的泄漏测试1.7e-5mbar.I/s

过程观察

可以在高达300 amu 的测量范围内观察到任意数量的选定质量强度。可设定报警循环阈值给选定的质量。如果它们高于或低于期望的极限，信号可以通过数字输 出提供给更高等级的控制系统。这允许MLS211  提供实时过程观察和控制。EVN116  (选配)气体管控阀系统要适应相关制程的压力需要，以及一个另外集成的截止阀可  以快速的在系统泄漏时关闭并保护质谱系统。

质量保证和过程优化

可选定几个特定的制程一定时间范围内气体浓度的变化， 监视气体成分，具有定量测定和确定工艺气体的纯度和种类的能力,以及监测与真空镀膜工艺有关的气体成分的能力，被认为是工艺文件和质量保证的一个重要工具。可追踪整个工艺流程，全过程测量 以及分析，无需停止测量。所有的测量结果可以导出以进行进一步的分析。

呼吸过程测试(特定版本)